二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9276304 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC是一種自動化晶片測試和計量設備,它使用先進的光學檢測技術在晶片制造過程中和之後測試其質量。該系統設計用於檢查尺寸不超過200毫米的晶片,並用於測量尺寸不超過0.25um的特征。該單元利用彩色共焦掃描技術，創建晶片的高分辨率3D地圖，精確測量橫跨晶片的特征高度，以及光學幹涉成像，以快速檢查平坦度和晶片宏觀地形。該機還采用橫截面粗糙度計量工具，利用電動XY子系統和激光二極管光源實現0.5 μ m分辨率的混合表面形態測量。該資產設計為完全自動化並集成到生產環境中,具有自動晶圓處理模型和各種晶圓交互選項。設備還提供工業級工藝控制能力，允許對多個工藝進行監控，並提供反饋以保持最佳工藝條件。該系統提供實時晶圓質量評估，可用於識別缺陷和監控過程均勻性。此外,該部門還提供高級數據驅動的分析報告功能,以幫助確定可用於持續改進的流程趨勢。RS-55TC可以根據具體應用提供不同的測試結果，因為它是用晶圓檢查和計量軟件預先編程的。它可以被編程為加工由矽、砷化的、碳化矽等不同材料制成的晶片。該機器還采用了智能分頁算法，能夠識別合格晶片並確保良好的產量。綜上所述，KLA OMNIMAP RS-55/TC是一種自動化晶圓測試和計量工具，旨在滿足全球半導體市場的需求。該資產使用先進的光學檢測技術來測量低至0.25um的特性,並提供工業級工藝控制功能以保持最佳工藝條件。它能夠為不同的應用和材料提供不同的測試結果，並結合了Smart Binning算法來提高產量和降低生產中的浪費風險。