二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TCA #9261757 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TCA晶圓測試和計量設備旨在為半導體制造商提供全面的缺陷物理表征和分析。它將幾種技術集成到一個統一的系統中，以解決用於生產和研究應用的晶圓計量過程。該單元的主要特點包括：敲擊AFM（原子力顯微鏡）：允許對晶片表面的納米結構進行高分辨率成像和實時測量。RS-50光柵：提供整個晶片表面的高速、非接觸式計量，包括基板、接觸墊和其他特征。海星邊緣檢測機：自動檢測晶圓邊緣,以便為後續成像和測量過程提供精確的對準信息。橫向力顯微鏡（LFM）：能夠以1納米或以下的分辨率實時映射探針尖端和晶圓表面之間的力。同軸探針掃描：結合LFM,此功能可控制探針尖端偏轉,從而生成精確的地形圖。FPD-JV1010可變形鏡：用於實時控制聚焦光束的入射角。這允許在多個方向同時進行高速成像。靜電顯微鏡（EFM）：能夠在非接觸模式下進行納米級成像和表面分析。「晶圓級」流體工具：通過調節真空和壓力，以及襟翼閥，這一資產能夠對流體級進行完全的對峙控制。這是用來精確輸送流體，如偏振溶液或含有標記的流體，到晶圓表面。基於VME計算機的數據采集和控制模型：基於工業VME體系結構,該計算機允許實時控制儀器操作以及數據收集。這種晶圓測試和計量設備為廣泛的表征需求提供了一個用途廣泛、精確、功能強大的平臺。KLA OMNIMAP具有先進的成像能力和廣泛的分析選項RS-55/TCA非常適合生產和研究應用。