二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75/TCA #9260211 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75/TCA是為滿足半導體行業的嚴格需求而開發的高端晶圓測試和計量設備。這套先進的系統可提供快速、準確和可重復的晶圓級測試和計量服務,用於10英寸晶圓項,生產負載既低又高。它采用先進的光學設計來精確測量和繪制各種表面特征和缺陷。該單元有多個專門為晶圓分析設計的模塊，如RS-75晶圓映射機、TCA映射工具和KLA Omnimap。該RS-75專門為晶圓區分/映射、模模檢驗而設計，並提供機器人輔助的自動化裝卸。它具有精密的線性編碼器,可提供無接觸、精確的位置精度。TCA Mapping Asset能夠識別RS-75晶片上模模對齊的模式,並具有適當缺陷檢測和攻擊的定量分析模型。另一方面，TENCOR Omnimap優化晶圓和子模具級的缺陷檢測和分析，可以檢測到丘陵、應力緩解模式缺陷、小斑點等多種類型的缺陷。設備還配備了一套綜合硬件和軟件，用於測試和計量。這包括用於制定分析過程計劃的編程系統、有助於捕獲高分辨率圖像的高分辨率成像頭以及用於導出和顯示報告的數據采集和分析工具庫。總體而言，KLA Omnimap RS-75/TCA是自動晶片測試和計量的絕佳選擇，因為它提供了一系列功能來提供晶片的全面測試和分析。它通過全面的硬件和軟件以及可靠的數據分析,確保了最佳的準確性和可重復性。