二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9162058 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75是一種高性能晶圓測試和計量設備，設計用於晶圓的精確表面檢查和工藝表征。它結合了先進的自動光學檢查（AOI）設備和精密的綜合計量，用於精確的晶圓級測量。該RS-75的測量精度優於1微米（1 μ m），使得各種晶圓材料和基材類型的高分辨率成像和測量成為可能。該RS-75是一個快速、大面積的表面分析系統，將多種計量技術結合為一個平臺。它配備了一個五軸晶圓級，可以從集成控件進行管理，用於廣泛的應用。五軸運動和高精度計量方法使得高速掃描和檢查大面積晶片成為可能。它還確保快速和準確地測量任何不規則的特征，如劃痕、凹坑或汙漬，並結合先進的光學和輪廓成像。為了進行表面檢查，RS-75采用了高效的光場成像技術和先進的光學器件。它能夠捕獲各種配置的圖像,最大分辨率可達5 µm。而且，多級照明單元可以進行透射、傾斜、反射和散射模式檢查，可以檢測到各種特征和缺陷。該RS-75也是一個先進的計量平臺，為精確尺寸計量提供多種工具。它采用非接觸式3DPro光譜技術，利用光反射率高精度測量表面輪廓。全向和非接觸技術也使得晶圓表面的3D重建能夠進一步分析。該RS-75還具有廣泛的用於數據采集、處理和分析的軟件工具。除了自動特征識別和模式比較之外，軟件還可以自動生成報告，方便地進行分析。總體而言，KLA Omnimap RS-75是一種功能強大的晶圓測試和計量機器，設計用於高精度表面檢查和工藝表征。它帶有高級成像和計量方法,以及用於自動識別和報告特征的軟件工具。它是晶圓制造商質量控制和工藝開發的理想平臺。