二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9163055 待售

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ID: 9163055
晶圓大小: 8"
Resistivity mapping system, 8" Automatic open cassette notch alignment Dual loadport Currently installed and stored in cleanroom.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75是一種晶圓測試和計量設備,能夠快速準確地分析半導體晶圓。該系統由一個晶片級組成,該級可以傳輸最大尺寸為300 mm的半導體晶片。該裝置配有高性能光學器件(最大放大400X倍)以及各種內置傳感器和檢查工具,可以對晶片進行詳細檢查。該機能夠測量表面地形、表面平面度、電阻率、厚度、缺陷密度等參數。該RS-75具有兩種檢測系統-聚焦檢測和散射檢測.聚焦檢測工具利用一個激光束被引導到晶圓表面,以測量表面不規則高度到0.1微米的分辨率。散射探測資產利用激光通過晶圓,允許對表面特征進行自動檢查。該模型還包括一個可編程的自動非接觸式三軸晶圓級。這樣可以在設備中精確定位晶片,以便進行精確的測試和檢查。此外,系統還配備了高速圖像采集裝置,每秒可捕獲數千張圖像,以實現最高的測試精度。KLA Omnimap RS-75支持Auto Map軟件,該軟件允許用戶預先設置測量參數,並相應地擁有機器捕獲和分析數據。該工具還包括一個完全可編程的基於GUI的用戶界面,可以方便地設置和分析數據。該資產的設計可實現最大的可重復性和準確性,適用於各種應用,包括晶圓表面計量、缺陷檢測、故障分析等。其先進的光學、高效的測試和自動化的測量使其成為要求最苛刻的半導體晶圓測試應用的理想選擇。
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