二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9190988 待售
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已售出
ID: 9190988
優質的: 1997
Resistance mapping system
Measurement range: <5 mΩ/sq - >5MΩ/sq
Appropriate probe head: <0.2% (1σ)
Manually loaded single wafer: ≤60 seconds
Typical measurement time: 49-site test
Measurement capabilities:
Routine check: 1-30 sites programmable (ASTM standard tests included)
XY Map: 1,200 sites programmable
Single/Dual configuration capability
Analysis capabilities:
Contour/3D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Calibration curves for low-dose monitoring
File editing/data extraction capability
Average difference/ratio maps
Trend/SQC charts
Histograms
Data transfer: SECS II/RS232 Communication (Data upload)
Precision probe heads:
40 mil Probe spacing: 100 gm loading
Tip radius: 1.6, 4, 8 and 20 mil
25 mil Probe spacing: 100 gm loading
Tip radius: 1.6, 4, and 8 mil
62.5 mil Probe spacing: 200 gm loading
Tip radius: 1.6 mil
High-speed tester accommodates all standard wafer diameters
in thicknesses up to 2 mm: 2, 3, and 3.25 in; 100, 125, 150 and 200 mm
Includes:
High-resolution color monitor
1.4 MB, 3.5" floppy drive
Fixed hard drive
Line conditioner
EMO Circuitry
Pentium computer
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計精確度和速度。該系統能夠快速準確地對晶片和其他基板進行無損檢測和計量。最先進的KLA Omnimap RS-75具有高分辨率的防反射塗層攝像機,用於觀察和測量晶圓的表面和邊緣。其先進的光學和相機分辨率提供更清晰、更詳細的圖像和準確的測量。提供了一個高級軟件包,用於執行圖像分析、圖像存儲和圖像處理等操作,從而能夠快速高效地檢查晶圓的表面和邊緣。TENCOR OMNIMAP RS75除了它的高分辨率、防反射塗層攝像機外，還包括一個極其精確的雙面100 µm分辨率晶圓傳感器。該傳感器具有很高的精度和精確度,能夠掃描晶片的兩側,從而能夠識別異物、毛刺和表面不規則性。該單元還配備了可配置的掃描模式，允許靈活性和易用性。PROMETRIX Omnimap RS-75還標配了功能強大的掃描馬達和掃描算法。這使機器能夠在x-y-z軸中精確掃描基板,並圍繞z軸旋轉基板。這允許快速和高效的分析和處理，提供了一個全面的評估基材。TENCOR Omnimap RS-75的靈活性和準確性使其成為一種特殊的晶圓測試和計量工具。其先進的配置和特點使其成為工業質量控制和檢驗操作的理想選擇。資產的直觀界面使其易於使用，為組織提供了高效可靠的晶圓測試和計量模型。
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