二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #293662983 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H是一種晶圓測試和計量設備，設計用於生產級故障分析和內聯晶圓計量。它提供了先進的晶圓測試系統,可提供快速、高精度的故障分析和路由決策。該系統為先進的過程控制（APC）和產量管理操作提供精確的表面計量。該單元將高效的多傳感器測量儀器與功能強大且可配置的用戶界面結合在一起，為準確快速的分析提供了一個集成平臺。機器還包括自動化的軟件工具，允許快速識別關鍵缺陷和產量分析。KLA P-20H能夠高速測量,以滿足生產級測試的需求。該工具具有高度精確、快速和可重復的測量功能,使其能夠提供測試和計量結果,使制造工程師能夠識別具有挑戰性的制造問題。資產測量各種表面參數如不透明度、反射率、厚度、光學均勻度和粒度。它還可以配置為測量關鍵特征,如模具邊距、設備間距、叠加和線寬測量。該模型提供各種晶圓測試和計量自動化選項,使其能夠用於在線計量和離線故障分析。可以對設備進行編程，以監測和分析晶片測試結果，並在發現數據異常時采取自動糾正措施。此外,系統還支持高級可視化工具,使用戶能夠快速識別拓撲和幾何模式,以及與過程相關的缺陷,如線寬違規、設備與設備之間的錯誤對齊以及過度/不足蝕刻。TENCOR P20H單元具有模塊化設計,可以將其配置為滿足特定的測試和計量需求。它由一個中央單元和幾個可以集成或拆卸的模塊組成。每個模塊都可以定制用於晶圓測試覆蓋範圍或使用,例如用於參數測試和表面計量、同時晶圓檢查、特征分析或薄膜厚度和電阻率測量。總體而言,P-20H為用戶提供了一臺精密的晶圓測試和計量機器,可同時執行在線和離線測試。該工具的模塊化設計和靈活性使其能夠用於生產級測試和計量操作,以及過程和產量管理操作。它的自動化測試和計量選項使它能夠提供快速、準確和可重復的測量和決策,使用戶能夠快速高效地識別具有挑戰性的設備問題。