二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9101209 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H設備是一種高通量晶圓測試和計量系統,為高級缺陷審查、晶圓缺陷報告和改進的設備性能表征提供了總體解決方案。KLA P-20H提供卓越的精密晶圓和封裝器件計量，並具有先進的缺陷審查能力，便於過程驗證和提高產量。TENCOR P20H能夠支持各種直徑可達300 mm的晶圓,分辨率可達1 µm, 3D非接觸剖面儀,光譜成像系統,光刻工具,幹涉測量和散射測量解決方案,以及高密度缺陷檢測和吞吐量。該單元的最大吞吐量高達461 wpm,並支持多種晶圓模式,包括平面、via、線鍵和雙面。該機器還具有高級缺陷審查工具,允許用戶快速隔離和分類缺陷,以便評估流程、確定根本原因以及改進產量和流程控制。P-20H支持自動化審查過程,以及對復雜結構（如多平面測試結構）和高級FIB樣品準備的手動審查。此外,該工具還能夠對封裝設備和MEMS設備進行晶圓級計量,從而提供有關性能的快速反饋。該資產配備了直觀的用戶界面,允許用戶快速設置新項目、查看結果和運行報告。此外,該模型還包括軟件工具,使用戶能夠快速分析數據並生成圖表以供查看。該設備還能夠與審查站、缺陷分類系統等第三方組件集成。總之,PROMETRIX P20H是一個高通量晶圓測試和計量系統,旨在為過程驗證和產量改進提供卓越的精度和高級缺陷審查功能。該單元允許多平面晶片陣列、缺陷審查和封裝設備特性鑒定,吞吐量高達461 wpm。此外，人性化軟件使快速設置實驗和分析結果變得容易。最後，機器還可以與其他組件集成，為晶圓測試和計量需求提供有效的總解決方案。