二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9188378 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H是一種專門為檢查半導體晶片而設計的晶圓測試和計量設備。它具有自動計量序列,可執行全面的2D計量功能,以實現快速清潔室測試結果。該系統配備高速機動化級、基於模型的算法，以及二維、多傳感器的特征大小和形式檢測。KLA P-20H可以測量臺階高度、所有基板上的CD輪廓、叠加、電氣參數等。該單元配備了光學顯微鏡，其中包括用於最高質量成像的明亮白光LED模塊。還提供了從5 X到50X的物鏡，以提供各種放大倍數，更好地關註小特征。TENCOR P20H還利用自動采樣階段,以每小時200晶圓的速度確保精確和快速的計量,使其成為快節奏生產線的絕佳解決方案。該機還融合了廣泛的功能，如其自動報表生成、直觀的用戶界面、ANSI標準兼容缺陷檢測軟件、可自定義參數設置的庫以及CD配置文件的詳細分析。此外，KLA P20H對多種晶片處理技術（即石英、塔架、露天卡盤）和各種基於視覺的計量技術（例如VIS、SPL、SEM、AFM、X-Ray）提供了綜合支持。此外,P20H工具與E-AIMS企業系統完全兼容,提供了與高度詳細的自定義數據報告的無縫集成。此外,可以從常規PC輕松調試該資產,從而消除與安裝專業人員相關的任何多余成本。總之，P-20H是一個高性能的晶圓測試和計量模型，使測試吞吐量和準確性最大化，使其成為各種應用的理想選擇。設備配備了先進的光學、自動報表生成、直觀的用戶界面、多種晶圓處理技術支持，以及多種基於視覺的計量技術。此外,由於它與E-AIMS企業系統兼容,該系統提供了無與倫比的靈活性和集成能力。