二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9212478 待售

ID: 9212478
晶圓大小: 8"
Long scan profiler, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H晶片測試和計量設備為生產和研究應用提供了高效、準確的晶片測試和計量。這個先進的系統由許多測量晶片的元件組成,包括測試階段、測量單元和對齊機。該工具的測試階段部分用於測試和分析不同尺寸、形狀和100-500微米厚的晶片。該級包括一個帶有激活和控制面板的真空資產和一個手動操作的X-Y轉換器。它最多可容納6個晶圓,並提供一個可調節的高度平臺,用於在舞臺上固定碎片。晶片可以與後臺運行的測試程序單獨或同時測量。測量模型包括激光幹涉儀、位置傳感器和晶圓跟蹤軟件,用於高分辨率成像和測量能力。測量設備與晶片級耦合,提供晶片表面地形和構型的精確測量。另外,晶圓跟蹤軟件可以檢測缺陷,測量晶圓臨界尺寸,跟蹤晶圓厚度的變化。最後,對準系統由激光二極管投影單元和高精度攝像機組成。相機使激光二極管能夠精確對準晶片表面,以便精確測量和檢查晶片表面。它還能夠糾正由於晶圓內的運動而可能發生的任何對齊錯誤。KLA P-20H晶片測試和計量機是一種先進的工具,用於晶片的精確和高效的測試和計量。它可以提供晶圓表面地形的精確測量,檢測缺陷,測量臨界尺寸,跟蹤晶圓厚度的變化。高級對齊資產還可以校正由於晶圓內的移動而可能發生的任何對齊錯誤。該模型非常適合生產和研究應用。
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