二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9243003 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H晶圓測試和計量設備旨在測量半導體晶圓生產中的關鍵尺寸。該功能強大的系統用於缺陷檢測、晶片邊緣搜索、晶片圖生成、2D覆蓋、表面高度測量和其他新興應用。該單元由一個晶圓處理程序、一個檢驗階段和兩個成像光學器件組成。該處理程序能夠在單個6英寸晶片盒中處理多達90個晶片，並且可以安全地將晶片往返檢測站。這樣可以確保可靠和安全的晶圓處理和運輸。晶圓處理程序被編程為管理卡帶加載、傳輸、卸載和轉移，為批量和單個晶圓進程的多種配置提供了靈活性。檢查階段有一對精密的成像光學器件，可用於檢查晶片的表面和臨界尺寸分析。成像光學器件可以檢測各種缺陷，包括結核、平坦斑點、反射率、分子取向、晶圓厚度、高度和表面粗糙度。光學器件具有較高的動態範圍，能夠對結構成像，比晶圓處理程序的分辨率小2-4倍。機器還包括一個集成缺陷標記工具，可以識別和標記缺陷晶片。此標記過程消除了手動缺陷分類和相關時間成本的需要。精密計量工具能夠在300 mm晶圓上測量10 nm，總晶圓測量精度為2.4 μ m。KLA P-20H在相對較快的掃描時間提供晶片的精確、高分辨率圖像。轉向、數據采集、計量能力和缺陷分析相結合，使資產能夠快速準確地測量和表征晶圓。該模型適用於晶片上的顛簸晶片、通道模輥等先進封裝應用。此外,該設備還非常適合進行故障分析和模具測量。總體而言，TENCOR P20H晶圓測試和計量系統旨在為半導體生產提供卓越的性能和顯著的成本節約。PROMETRIX P-20H具有可靠的晶圓處理、高度先進的光學設備、易於使用的缺陷標記單元以及高度精確的計量工具,是市場上最通用、最先進的晶圓測試和計量系統之一。