二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9281357 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓上各種特征的高精度測量。該系統允許同時分析多個平面和特征,並為不同的生產任務提供快速的周轉時間和輕松的自動化。KLA Quantox 64100專為測量緊密的過程控制參數而設計，如線寬和螺距、蝕刻深度和沈積厚度。該單元具有集成的3維（3D）降噪軟件,無需手動對齊,在測量密集特征時可獲得準確的結果。它還采用光學計量技術構建,以幫助確保在廣泛的參數範圍內一致準確的計量結果。TENCOR Quantox 64100配備了業界領先的信噪比（SNR）,可提供準確的測量結果並最大程度地減少錯誤,同時保持高吞吐量。該機集成了一個可變數值孔徑（NA）目標，這意味著它可以快速調整來測量小特征，以及數個平面或重叠特征的陣列。其他功能包括提供最大精度的低噪聲檢測器,以及對不同深度特征的高分辨率、高對比度圖像捕獲。此外,該工具還采用了一些創新技術,例如增強光束路徑以提高測量精度,以及提供均勻照明以在整個樣品中進行更精確的測量的LED照明。PROMETRIX Quantox 64100還集成了動態鏡頭補償器（DLC）和增加的鏡頭散射路徑（LSP）補償技術，提供了很長的工作距離，減少了異常的光路現象。此外,該資產還配備了EDEN功能測量軟件,用於自動多維特征識別,從而顯著縮短了測量時間。總體而言,Quantox 64100是一種可靠的晶圓測試和計量模型,專門針對需要嚴格過程控制的應用進行了優化。該設備具有先進的降噪、增強的光束路徑、均勻的照明、DLC技術和多維特征識別等功能,可提供一致準確、高精度的結果,滿足當今高科技行業的需求。