二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293610237 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一種自動化晶圓測試和計量設備。用於檢測和測量半導體晶片和器件的均勻性和電氣特性。KLA RS-100利用一個獲得專利的多重測量解決方案（MMS）平臺,該平臺結合了最先進的晶圓測試和計量技術,如掃描聲學顯微鏡（SAM）、光學顯微鏡和X射線地形。TENCOR RS100是為了對復雜的半導體器件結構和材料進行高效、準確的分析而設計的。它與先進的自動缺陷檢測和審查系統集成在一起，不僅加快了機載分析的速度，而且能夠檢測和定位納米級缺陷。該單元還與先進的D波束自動模式識別機集成，允許精確的晶圓叠加度量和控制。TENCOR RS-100具有多種自動化測試和檢查功能,可確保晶圓特性的均勻性、重復性和精確測量。它的多區跟蹤功能自動跟蹤多焦平面上的晶圓數據和缺陷,而多參數測量功能同時計算多個參數,如表面粗糙度、厚度、摻雜濃度、電子顯微鏡（EMMI）-像素分析和均勻性。該工具還包括自動漂移補償技術，用於監測和補償機械失真。該資產配備了一個高速X射線成像子系統，能夠測量晶圓均勻度和線寬變化，一個用於快速定位缺陷的實時成像模型，以及一系列用於增強和改進晶圓功能的自動化分析工具。此外,KLA RS100還配備了光學輔助對準設備,可提供精確的CCD對準和光學特性。PROMETRIX RS-100系統與現有硬件和軟件系統無縫集成,並提供可選的軟件開發工具以擴展其功能。因此，通過優化其綜合計量和測試能力，RS100確保晶圓開發過程獲得準確和可重復的結果，使半導體器件制造商能夠向市場提供高質量、可靠的產品。