二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293628453 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100
ID: 293628453
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一個功能強大但用途廣泛的晶圓測試和計量系統。它利用先進的計量學技術,能夠增強過程控制和數據分析,從而在晶圓處理中實現更快、更準確的決策。KLA RS-100采用緊湊的設計,非常適合測試實驗室和狹窄的空間。它的空間效率和模塊化體系結構包括一個高分辨率的光學Disovery System (ODS),可以按雙配置或四配置排序。這樣,最多可以同時進行四種特定測量,如CD、焦點、凹槽或叠加。此外,ODS足夠大的樣品室非常適合檢查具有全範圍照明的較大樣品。TENCOR RS 100的性能通過使用其先進的分析算法得到了進一步提高,該算法能夠無縫地比較模具尺寸變化和許多測量的模式。它強大的軟件功能還提供了各種測量模式的準確性、速度和靈活性,包括表面地形、輪廓、叠加、線寬、缺陷和圖像分析。它還提供了卓越的叠加對齊方式、線寬測量以及在特征級別上難以精確測量的其他特征。RS-100擁有許多功能,使其成為晶圓測試和計量的首選。其集成的光學設備提供了卓越的可重復性和準確性,而其自動化功能則實現了快速、輕松的設置和操作。人體工程學設計包括一個大型觸摸屏面板和用戶友好界面,內置幫助功能可減少設置時間、提供指導並最大程度地減少用戶錯誤。它還配備了快速偶極和極地照明、4倍電子縮放、半透明光學背光、與熱和環境溫度控制器並用的先進照明能力。此外,KLA RS100與KLA Data Acquisition and Analysis Software(DAS)兼容,讓用戶分析數據以識別過程趨勢,進行更準確的數據分析。總體而言,RS100是測試和計量需求的理想選擇。它提供了一系列特性和功能,使其適合各種測量、過程和應用程序。TENCOR RS-100具有模塊化設計、卓越的光學性能和分析能力,提供了精確和快速的性能,是晶圓測試和計量的絕佳選擇。
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