二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9072401 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一個革命性的晶圓測試和計量系統,它在一個模塊化的自動化平臺中提供卓越的性能。該平臺包括五個關鍵過程，包括缺陷審查、粘合、標線圖案、反射率和地形。缺陷審查過程掃描晶片是否存在缺陷,並創建一個全面的缺陷報告。報告概述晶片的缺陷和錯誤,包括位置、類型和嚴重性。此過程可以檢測小至25 nm的特性,而無需額外的光學設備。鍵合過程允許以非常快的循環時間創建可靠的線鍵和帶鍵。這一過程使用精確的壓力控制算法，確保無論晶圓的質量和條件如何，都能施加正確的鍵合力。此外，該工藝能夠粘合任何大小的晶圓。標線圖樣過程允許在晶圓上精確復制標線圖像。該過程具有很高的可靠性，利用先進的算法實現精確的控制和精度。此外，它能夠在鋁、矽、金等各種材料基板上復制標線圖案。反射率過程確保了對晶片反射率的精確控制，而無需進行機械調整。這允許控制和高度精確的反射率輸出。地形過程需要對晶片表面進行詳細的測量，以進行晶片稀釋和制備粘結。這一過程是完全自動化的，不需要體力勞動。總體而言，KLA RS-100晶片測試和計量系統為晶片測試和計量應用提供了一個自動化的高性能平臺。該系統具有五個中心過程、先進算法、精確控制、高精度，是測試和計量專業人士的理想選擇。