二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9123627 待售
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已售出
ID: 9123627
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2006
Resistance mapping system, 8"-12"
Single open cassette handler
Robot: ATM-107-2-S-CE-S293
Single fork
Controller: 6-0002-0865-SP
Trackball and keyboard standard
Alignment system: Camera
Factory automation: E40, E94, E90, E87
PC Configuration
CPU: PIII 850 MHz
Memory: 512 MB RAM
70 GB Fixed hard disk drive
17" VGA Monitor
CD-ROM Drive
Diskette drive capacity: 1.44 MB
Software configuration:
OS: Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version: 2.31.04
Resistivity tester firmware: 1.02a
Measurement specification:
Measurement range: 5m Ohm/sq - 5m Ohm/sq
Absolute accuracy: 1% of NSIT certified range
Temperature accuracy: 0.5°C
Temperature repeat-ability: 0.2°C
Routine check: 1-30 sites programmable
Single or dual configuration capability
220 V, 15 A, 50/60 Hz, 1 Phase
2006 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100晶圓測試和計量設備是一種用於薄晶圓檢測和表征的多用途解決方案。采用專利綠色激光技術和先進的圖像處理算法，為精細樣品表面的非接觸式檢測提供了更高的準確性、速度和可重復性。它能夠以10 nm至10 mm的精確度進行測量，適用於從半導體計量和光刻到平板顯示器和太陽能電池計量和檢查等一系列應用。該系統的主要功能包括：1.采用低能綠色激光裝置,提供卓越的分辨率和功率穩定性.因此，不需要額外的聚焦機或樣品制備。2.自動化的圖像處理算法，以及提供完整的可編程性和魯棒性的操作。3.10 nm至10 mm的寬測量範圍。4.高精度和可重復性。5.粘接和固定式註銷功能。6.高覆蓋精度,操作範圍在50 nm以下。7.在晶圓級進行處理,以便在單個芯片上獲得所需的所有測量值。8.缺陷分類、地形和橫截面成像。9.檢測和隔離不同類型缺陷的能力。此外，它還包括先進的基板處理技術，以及各種核心系統和選項，這些系統和選項可以結合並根據特定的要求量身定制。其中包括晶圓定位傳感器和執行器，以及先進的模式識別軟件。所有這些功能確保KLA RS-100提供卓越的性能、準確性和適應復雜的晶圓計量和檢查應用。
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