二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9206414 待售

來自KLA的KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一種高性能晶圓測試和計量設備，結合了先進的計量技術和直觀的用戶界面元素。其高吞吐量、準確性和可重復性使其適合一系列苛刻的應用，包括故障分析、圖案化晶片測試和光學缺陷檢查。KLA RS-100的核心是其精密的光學系統，具有電動Z級和高度映射陣列，可對晶圓特性進行高精度測量，同時減少測量和定位誤差。該裝置的力學設計能夠提供平滑的操作，具有低漂移和振動，並提供納米尺度的精度。除了先進的光學機外，TENCOR RS100還配備了多種工具進行測試和檢查。光源陣列和成像系統允許工具執行光學缺陷檢查、光源掃描和背面晶圓檢查任務。光學圖樣識別資產允許識別具有復雜圖樣的晶片中的缺陷。還包括一整套計量工具，提供厚度、電阻率、板材電阻和板材電容等測量。TENCOR RS-100包括一個直觀的用戶界面,允許輕松操作。它包括一個智能用戶指導模型，它自動建議給定應用程序的最佳測試或檢查設置，以及失敗測試的自動重新運行選項。用戶界面的直觀性質還允許以最少的培訓操作設備。最後,RS100系統設計為可擴展和可定制,以滿足一系列特定應用程序的需求。還提供了多個晶片級和各種測試夾具等附加功能,使設備能夠適應一系列任務。總體而言,PROMETRIX RS-100是一臺可定制且可擴展的高性能晶圓測試和計量機器。KLA RS100具有先進的光學、全面的測試和檢查功能、直觀的用戶界面和可擴展性,非常適合一系列要求苛刻的晶圓計量應用。