二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9222500 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一種高端多傳感器晶圓測試和計量系統，設計用於檢查半導體器件結構。它是一個集成、聯機的系統，能夠快速、準確地測量、檢查和分析樣品。KLA RS-100配備了三個主要組件：光學顯微鏡、幹涉儀和納米掃描儀。光學顯微鏡用於測量晶圓上單個器件的形狀、大小和拓撲。它的幹涉儀精確測量晶圓的平整度和均勻度，而它的納米掃描儀則可以檢測到顆粒和其他低於納米尺度的缺陷。這種強大的傳感器組合使TENCOR RS100能夠評估晶片表面紋理的質量並與標準進行比較。它還檢查顆粒汙染、線寬變化、步高、汙染、接觸和顆粒等缺陷。RS100提供了廣泛的工業上接受的計量方法，包括激光輔助共焦計量、透射率方法、多個參考點和視線分析。集成的設計和軟件支持自動數據收集和分析功能。RS-100包括照明良好的現場檢查環境和具有直觀圖形用戶界面的高分辨率平板顯示器。該系統可以與其他KLA系統集成,以獲得更多功能。PROMETRIX RS-100在晶圓測試、計量和缺陷檢測方面提供了可靠且可重復的結果。其集成能力和易用性使其非常適合生產線、研發和工藝鑒定應用。它與一系列軟件平臺兼容，如TENCOR WaferMap、DBU和Microsoft Windows。