二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-30 #293655446 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-30
ID: 293655446
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-30是在半導體工業中設計和使用的先進晶圓測試和計量設備。該系統對晶片的線寬、表面粗糙度、芯片覆蓋率等特性進行了準確可靠的測試和測量。憑借其集成的高分辨率成像,KLA RS-30能夠檢測到各種半導體晶片中的細微缺陷和其他異常。該單元使用自動化視覺技術來捕獲數千個單獨的圖像。使用高級算法處理這些圖像,生成晶圓的詳細缺陷圖。然後,這些映射可用於評估度量,如晶圓電氣、光學和機械性能。TENCOR RS-30提供了一系列全面的測試功能。它具有用於成像、分析和缺陷檢測的高級系統。該機具有集成光學顯微鏡、激光幹涉測量等可用於測量微妙晶圓特征的計量能力。它的成像功能使用戶能夠收集各種晶圓材料的高度詳細的圖像。PROMETRIX RS-30還具有一系列用於測量各種晶圓屬性的模態分析工具。這包括共振頻率等力學性質,以及介電和機械常數等材料性質。這些算法用於識別點缺陷、位錯、粒子沈積以及蝕刻阻力增加的局部區域等項目。除了成像能力外,RS-30還擁有先進的數據分析包。此工具用於處理圖像並生成晶圓屬性的精確表示。該資產可用於評估各種材料和電氣特性。這包括全面的缺陷圖和過程控制報告。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-30晶片測試和計量模型是一種先進的工具,為用戶提供無與倫比的晶片表征精度和可靠性。它的綜合工具和系統使用戶能夠最精確地測量和分析晶片特性。憑借其先進的缺陷檢測和成像能力,KLA RS-30使得晶片表征和分析過程既高效又高度可靠。
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