二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293628450 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一種晶圓測試和計量設備，設計用於檢查和測量半導體基板和器件。該系統具有多種功能,可提供最高的性能、準確性和最佳的陣列晶圓測試和計量吞吐量。KLA RS35利用六軸機器人級和高分辨率幹涉測量裝置，使其能夠測量厚度、平坦度、均勻度等廣泛的晶圓特性。此外，該單元還配備了非接觸散射法、投影柱頭法、激光衍射等高精度計量技術。它還具有高分辨率成像機,可提供高級成像功能,如小幾何形狀的測量、詳細的表面紋理等。該工具由於其集成的體系結構而高度可靠且無維護，不需要傳統的光學系統。此外,通過自動化的一流數據處理和分析增強了資產的性能,從而實現了最高的生產效率和一致性。TENCOR RS 35還提供了一系列高級功能,可進一步提高準確性和生產率。其中包括針對特定任務（如層厚度測量、線寬測量、CD不匹配測量等）的高級分析功能。它還具有增強的可視化和先進的照明技術來分析圖案。此外，該模型還配備了專門的分析系統，如用於可靠性測試的過程控制設備和用於設備和電路表征的CMOS成像系統。TENCOR RS35是一個先進的高性能晶片測試和計量單元，能夠在圖樣晶片測試和計量中提供最高的精度和吞吐量。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35具有全面的特性、先進的分析功能以及增強的可視化和照明技術,是任何晶圓測試或計量應用的完美解決方案。