二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293798689 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一種晶圓測試和計量設備,用於提供一個全面的非接觸式計量平臺,能夠精確測量矽晶圓上200 mm大小的器件參數。該系統采用抑制人工智能（AI）技術、先進的模式識別算法和高分辨率成像相結合的方式來識別、隔離、精確測量半導體器件的物理特性。KLA RS35單元具有多種功能,旨在提高吞吐量和準確性,包括一臺雙模成像機,能夠快速、高效地測量晶圓和區域一級的地形。此功能可精確分析局部和全局特征,高度和寬度測量功能的精度為1 nm。TENCOR RS 35還集成了一個下一代成像工具，專門設計用於提供高分辨率映射和分析小至60 nm的關鍵模式特征。這樣可以精確地表征接觸和閘門結構以及其他關鍵設備元件。此外，高效的圖像處理引擎能夠快速處理從各種晶圓結構中收集到的數據，並便於識別與制造半導體的過程有關的獨特結構。RS 35還包括一個高級數據分析包,通過將實時圖像校正以及自動處理與軟件驅動的智能相結合,改進了現有方法。這使資產能夠迅速適應不同的檢查類型，並確定現有方法可能遺漏的細微模式。最後,PROMETRIX RS 35具有直觀的操作員界面和高度自動化的晶圓處理模型,可為多達50個晶圓級提供可靠的支持。這使得設備比需要手動裝卸晶片的系統更有效率和生產力。RS35是一個功能廣泛、功能強大的半導體器件表征和分析系統。它提供了具有高分辨率成像單元、圖像處理引擎和高級數據分析軟件的快速、準確的設備參數測量。憑借直觀的操作員界面和自動化的晶圓處理機，它易於使用，提供了更高效、更高效的制造解決方案。