二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9156670 待售
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ID: 9156670
晶圓大小: 2"- 8"
Sheet resistivity mapping system, 2"- 8"
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35晶片測試和計量設備是為集成電路制造商設計的,這些制造商需要可靠、準確和強大的晶片測試、檢驗和計量解決方案。該系統由幾個模塊化組件(晶圓處理程序、定制控制單元、光學和機械計量工具以及各種傳感器)組成,這些組件可以定制以滿足特定設備測量和測試配置的需要。集成晶圓處理程序提供精確、可重復的200毫米晶圓運動與三軸運動控制機器,允許快速晶圓定位和旋轉。對於晶片測試和檢查,KLA RS35配備了先進的光學、機械和電氣計量系統,包括:邊緣檢查工具、模具部署和故障識別資產以及模具分析模型。此外,TENCOR RS 35還包括可測量或檢查集成電路特定特征或模式的高級計量工具Multi-Sensor Interchator (MSI),以及用於測量晶圓表面拓撲的設備ASEC (Surface Topology Detector)。該設備還配備了4頭光學顯微鏡和高速CCD探測器,用於捕獲圖像數據。此外,RS 35還包括多種高級過程控制解決方案,如AutoScan(用於邊緣檢查、故障識別和模具測量的自動化系統),AutoFocusPro(用於顯微鏡和計量系統的自動對焦單位)和AutoTrend(可實時監控測試機性能的靈活數據趨勢軟件)。集成的KLA RS-35軟件套件提供對硬件、軟件和數據管理的完整工具控制,包括晶圓跟蹤、校準和存檔。總體而言,RS-35晶圓測試和計量資產是一種用於高端晶圓測試和檢驗的綜合設備,為集成電路生產提供可靠、全面的解決方案。該型號的精確工具和智能過程控制,加上易於使用的軟件套件,提供了無與倫比的性能和結果準確性,使設備制造商能夠自信地生產出質量最高的芯片。
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