二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9194116 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35
ID: 9194116
Resistivity mapping system Tabletop.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一種晶圓測試和計量設備,旨在促進對薄晶圓薄膜和其他圖案化表面的高效分析。該系統針對高吞吐量和精確度進行了優化,使其能夠以最高的效率和最小的人工幹預來處理大的生產量。該單元利用KLA專有圖像處理軟件和先進的光學計量工具,包括掃描電子和原子力顯微鏡,來測量薄膜在晶片表面上的性質。這包括來自小至0.1µm的樣本的線寬、間距、臨界尺寸和表面地形等索引。KLA RS35配備了自動自校準功能,可確保成像機的精度,並有助於以最小誤差確保精確測量。TENCOR RS 35的設計是為了應對復雜的缺陷形狀和晶圓的變形分析和電測試。這允許它檢測細微的缺陷,如短褲,打開,和線緣粗糙度。它還包括一個復雜的特征識別模塊,能夠高速識別線條邊緣、通孔和拐角等特征。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35包括許多其他功能,旨在最大程度地提高用戶的工作效率。其中包括LCD觸摸屏、手動覆蓋選項、實時流媒體以及測量的完全可追蹤性。這些功能能夠快速收集和分析晶圓,從而節省大量時間。PROMETRIX RS 35也具有很高的適應性,允許用戶定制自己特定的晶圓測試和計量需求。該工具兼容多種晶圓尺寸、各種類型的光學工具、幾種類型的機器人晶圓處理程序以及廣泛的顯微鏡和SEM成像區域。KLA RS 35是那些尋找可靠、高通量晶圓測試和計量資產的人的理想解決方案。憑借其最先進的功能、自動化的操作和多用途的設計,該模型成為當今市場上最高效、最具成本效益的模型之一。
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