二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284324 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一種提供高級計量能力的高精度晶圓測試和計量設備。該系統提供晶片表征、過程控制以及缺陷審查和分析,對晶片和可用設備提供最詳細和準確的分析。它使用最先進的圖像采集單元快速捕獲2-D和3-D圖像，最多1000 x 1000像素。KLA RS35自動引導操作員完成每一步，並將高分辨率的光學機器與電動級結合在一起，掃描範圍可達10厘米。它配備了先進的算法，以確保在掃描過程中的自動特征識別和優化。TENCOR RS 35旨在幫助開發半導體晶圓上的高精度器件特性，如平面結構、線寬、階梯高度和梯田結構。它配備了一系列的計量工具，包括光學散射法和傅立葉變換紅外光譜，用於更適當的表征。這些工具的組合可以全面可視化正在研究的設備，以及對其各種屬性進行非常精確的測量。KLA RS-35還配備了用於數據分析的軟件工具,如缺陷、圖像和參數計算,以及用於數據報告和管理的所有必要工具。它的數據分析功能允許通過實時3-D產品可視化檢測缺陷和不規則性。此外，它可以連接到其他KLA系統，允許自動程序傳輸和增強數據同步。總體而言，RS-35是一種高度先進的工具，配備了晶圓測試和計量方面的最新技術和資源。其性能、精度和易用性使其成為分析和開發半導體晶片高精度器件特性的理想選擇。