二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284480 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35
ID: 9284480
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於半導體晶圓的制造和測試。它是一種多功能、高性能的系統,用於測量和檢驗多種半導體材料,如矽、的、的、的、的、的。該單元結合了先進的光學、電氣和熱探測技術,提供有關晶圓表面形態、電性能和化學成分的關鍵信息。KLA RS35提高了晶片測試的準確性和精確度,使用戶能夠對晶片表面特征的完整性做出高水平的定量和定性決策。TENCOR RS 35具有高分辨率、自動化的測試工具,包括二維光學探針掃描和電氣測試,以及用於精確現場測量的集成在線計量系統。機器的二維光學探針掃描功能為用戶提供了測量表面地形和諸如劃痕、顛簸和凹坑等檢測特征的能力。電氣測試使用戶能夠測量各種晶圓材料的電阻、電容、電感和電流泄漏。此外,計量系統允許自動測量關鍵尺寸,包括單個層的厚度、實際層和特征大小以及溝槽的深度。TENCOR RS35可以在多種模式下操作,以適應不同制造工藝和材料的需要,從而確保最佳的刀具性能和魯棒性。這些模式包括手動操作、自動化操作和集成批處理模式,用於更大的生產運行。其先進的冷卻功能可提高工藝可靠性,並保持適合選定晶圓材料的溫度。此外,綜合定位系統使被測試晶圓的對準更加容易和精確,以確保準確性。此外,該資產采用模塊化體系結構進行設計,允許用戶配置KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35以滿足其特定行業的特定要求,包括材料、流程和應用程序。這使客戶能夠創建定制的解決方案,以滿足他們的特定需求。總體而言,PROMETRIX RS35晶片測試和計量模型為各種半導體晶片制造和測試應用提供了最先進的精度、精確度和可靠性。其先進的光學、電氣和熱探測功能,以及集成的計量系統,為客戶提供了有關其晶圓表面特征的關鍵定性和定量決策所需的信息。
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