二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9266468 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是一種晶圓測試和計量設備,旨在實現半導體晶圓和器件的自動化測試和分析。該系統采用激光掃描、自動缺陷識別和分類、臨界尺寸（CD）測量以及高級缺陷分析，以便對半導體結構進行剖析和表征。KLA RS-35C單元利用具有可變入射角的非接觸式激光掃描顯微鏡，生成被測設備的詳細地形圖像。該顯微鏡與多軸電動級相耦合，用於高速、360度自動晶圓掃描。該機基於軟件的智能缺陷檢測算法進行了廣泛的圖像分析，以檢測、分類和存儲缺陷。這種智能缺陷檢測算法還能夠生成帶有缺陷分布和產量評估詳細指標的檢測報告。TENCOR RS 35C還具有強大的CD計量能力，其中包括對一個設備的線條、空間和其他微型特征的快速而精確的測量。該工具利用光學顯微鏡和高速視頻圖像處理資產快速測量和分析CD特性。在CD測量之後，模型的軟件提供CD測量的全面統計分析，以監測產量性能和趨勢。除了CD計量功能外，RS-35C還配備了先進的過程控制和故障設備分析工具。它配備了缺陷分析儀,具有增強的紅光成像和硬件加速圖像處理功能,可識別和分析故障設備。分析報告包含用於過程控制的詳細缺陷度量,以及用於缺陷設備分析的設備級別分析。總體而言，RS 35C是一種可靠高效的晶圓測試和計量設備，在一個平臺中結合了非接觸式激光掃描、自動缺陷識別、CD計量、過程控制和故障設備分析。該系統能夠對半導體器件和晶片進行高速、徹底的檢查和分析，有助於確保敏感半導體器件的可靠性能。