二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9276502 待售
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ID: 9276502
Resistivity mapping system
4-Point probe
Vacuum: 300 mmHG
Hard disk
PC
Color monitor
XY Pattern test
Measurement range: 5 mΩ to 5 mΩ
Maps: Average, difference, and ratio
Calibration curves and correlation equations
Trend and SQC charts
Data import and export
ASCII Copy to diskette
Measurement options: Mapping (up to 625 sites)
Qualification test:
Contour maps
3D Maps
Diameter scans (Up to 625 sites)
Quick tests: standard and user-definable tests (up to 30 sites)
Accuracy:
± 0.2% (Standard resistor)
± 1% (NIST Wafer)
Repeatability : <0.2% (1 sigma)
Power supply: 115 / 230 V, 8 A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是一種高性能晶圓測試和計量設備,旨在滿足對準確性和可重復性的最嚴格要求。它由一系列組件組成，可自動、加速和極其精確地測量與半導體材料有關的各種特性。該系統的第一個元件是其光學區域傳感器，它是精確檢查單個晶片的結構和特征的基礎。它是一個掃描儀單元，包括一套特殊的光學、電子和軟件，能夠對晶圓的小部分進行詳細的測量，甚至達到納米尺度。由於能夠以最小的特征尺寸測量各種參數，這臺機器可以以多種速度和分辨率掃描，快速準確地測量寬度和深度等晶圓特征特征。該工具的Optical Reticle允許對晶圓圖樣進行完整的3維分析。這項資產非常精確，能夠將各種模式分析到納米分辨率水平。光學標線還采用特殊的光學和軟件，可以非常精確地確定晶圓表面上的粒徑。該模型還包含一個MicroStepper設備，用於多向測量晶圓表面上微米大小的設計特征，即使在存在焊料顛簸和汙跡等物體的情況下也是如此。由於能夠從兩個或多個方向進行測量，該系統能夠以高精度測量到納米尺度。KLA RS-35C單元還包括AutoAlign機器，這是一種精密的算法，旨在快速準確地將掃描儀和光學標線的光學元件與晶圓表面上的任何圖案對齊。這樣可以確保工具進行的每個測量都是精確且無誤差的。最後，該站包括一個Vacuum Chuck資產，確保晶片在測量時完美平行和水平。這是極為重要的，因為即使晶圓位置的微小變化也會導致結果的不精確。總之，TENCOR RS 35C為高精度晶圓測試和計量提供了解決方案。利用其組件套件，包括光學區域傳感器、光學標線、MicroStepper、AutoAlign和Vacuum Chuck，這個模型被設計為為任何測試的晶片提供極精確可靠的分析。
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