二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9281758 待售
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ID: 9281758
晶圓大小: 2"-8"
Resistivity mapping system, 2"-8"
4-Points probe
Vacuum: 300 mm HG
Hard Disk Drive (HDD)
PC
Color monitor
XY Pattern test
Measurement range: 5 mΩ to 5 mΩ
Maps: Average, difference, and ratio
Calibration curves and correlation equations
Trend and SQC charts
Data import and export
ASCII Copy to diskette
Measurement options: Mapping (Up to 625 sites)
Qualification test:
Contour maps
3D Maps
Diameter scans (Up to 625 sites)
Quick tests: Standard and user-definable tests (Up to 30 sites)
Accuracy:
± 0.2% (Standard resistor)
± 1% (NIST Wafer)
Repeatability : <0.2% (1 sigma)
Power supply: 115 / 230 V, 8 A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是最新的晶圓測試和計量設備,提供全面的分析和故障檢測功能。它設計用於先進的工藝表征環境，如半導體制造和相關行業。該系統配備了一系列自動、非自動和半自動模式，使用戶能夠快速分析和處理晶片。該單元采用先進的高分辨率成像技術，具有先進的計量能力，包括增強對比度成像、缺陷檢查、自動缺陷分類和缺陷檢測。這臺機器還使用戶能夠執行一系列自動測量,如線寬、臨界尺寸測量、叠加測量和晶圓應力測量。集成的光刻功能使用戶能夠在整個晶圓區域創建精確的圖樣。該工具的另一個關鍵組成部分是其板載分析工具。KLA RS-35C利用一系列軟件包幫助用戶分析其數據。Wafer Mapping Asset、Simulator/Analyzer和Data Reviewer等工具可以方便而全面地檢查晶圓表面。此外，該模型利用集成的圖形用戶輸入進行參數優化，並采用一系列分析算法進行缺陷檢測和分析。使用TENCOR RS 35C使用戶能夠準確、快速地收集相關流程數據。此外,這些數據可以與其他數據源結合使用,以創建全面的度量標準,使用戶能夠優化其過程控制參數。由於存在精確的檢測和測量能力，這種設備還能夠高度遵守既定的質量標準。總體而言，RS 35C是一個功能強大的晶圓測試和計量系統，使用戶能夠快速準確地收集過程數據。它具有一系列自動化和非自動化功能,再加上高分辨率的成像和計量功能,使其成為高級工藝表征環境的理想解決方案。
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