二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9293257 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9293257
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C晶圓測試和計量設備是一種功能強大、精度高、全自動的工具,用於評估半導體晶圓的表面拓撲。該系統利用各種先進的光學、機械和電氣測量來提供有關晶片表面及其相關材料特性的詳細信息。探頭和測量頭是高精度的工具,能夠檢測地形和基材質量的微小變化。KLA RS-35C單元能夠執行各種表面測量和計量服務,包括但不限於表面粗糙度、接觸角、表面輪廓、表面斜率、粒徑、組成、表面粗糙度、表面紋理和火花放電測量。它還執行多種微觀圖像,如掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)。此外,該機器還執行缺陷檢測、缺陷分類和設備幾何,並提供硬件比較、全局和局部坐標的特征、3D分析和3D縫合。TENCOR RS 35C工具附有拉曼光譜選項,利用激光誘導的熒光探測晶圓表面的各種化學物質。資產還附有一個粒子計數器,從大小、形狀、組成等方面測量粒子特性,以及接觸角測量模型。後者采用光學技術測量材料與液體之間的接觸角度。RS 35C設備是全自動和計算機操作的,提供一系列高級控制和處理功能。它構建在具有靈活運動控制組件的模塊化體系結構上,允許高精度和自動化操作,從而實現快速啟動時間。它還具有高級分析、數字圖像和信號處理,以及用戶友好的界面,可根據用戶需求和應用程序輕松定制工具。RS-35C系統提供了具有前所未有的準確性、可重復性和可重復性的可重復和可靠的測量,使其成為評估半導體晶圓質量的理想工具。它具有靈活性和廣泛的測量和分析功能,是半導體、汽車、航空航天、電子、光學和醫療等多個行業中晶圓測試的寶貴工具。
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