二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9298820 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C晶片測試和計量設備是一種自動化設備，對各種半導體晶片樣品提供精確、可重復、準確的表征和分析。它具有三個功能：晶圓測試、計量和均勻性測量，它們都在一個平臺上執行。KLA RS-35C晶片測試涉及監測樣品的電特性，如直流、脈沖、響應時間、暗電流和表面噪聲。這是通過使用系統的特殊探針卡,以及為測試提供電源和信號調節的Autostation 8輔助電路來實現的。探針卡能夠執行30 kHz至20 MHz的測試頻率,分辨率高達1Ω。TENCOR RS 35C計量單位測量試樣的結構完整性和缺陷水平。其掃描電子顯微鏡（SEM）允許以高分辨率和放大倍率采集圖像,並具有自動特征識別和分析功能。該機裝有可變壓力SEM，可測量輕質和重質沈積晶片。它還能夠執行各種異位測量,例如斜率、輪廓和凹槽深度。最後,KLA RS 35C均勻性測量工具允許在設備的特定區域內快速測量樣品的設備參數。這是通過使用先進的RGB模式識別資產實現的，該資產能夠隔離諸如結泄漏、結擊穿、閾值電壓和環路電流等特征。總體而言，PROMETRIX RS-35C晶片測試和計量模型提供了一種表征和分析半導體晶片的可靠方法。它將三個不同的過程組合成一個緊湊的設備，從而使其成為各種應用的理想選擇。它提供了測量樣品不同特性的有效方法，使其成為工業實驗室和研究設施的重要工具。