二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9354234 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9354234
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是一種關鍵的半導體晶圓測試和計量設備。這種高度精確的系統使用戶能夠檢查和分析晶片,晶片是半導體材料的薄片,用作制造集成電路的基板。KLA RS-35C擁有多項關鍵功能,提供最高級別的晶圓映射,可識別尺寸小於30nm的微小模式。此外,該單元還采用了基於圖像的分類,提供了卓越的缺陷檢測功能。高精度的TENCOR RS 35C使得它在計量、缺陷審查、晶圓分選、缺陷隔離和故障分析等多種應用中具有極大的應用價值。機器的成像能力使用戶能夠準確映射單個晶片特征並測量特征大小,從而能夠對晶片進行詳細的檢查和分析。這有助於確保在提交生產運行之前識別運動、缺陷和汙染。TENCOR RS-35C測量各種特征,包括晶圓表面地形,以及高度、CD/Width/空間和邊緣參數的組合。該工具還能夠測量粗糙度,包括平均值、峰值高度、峰谷距離和面積分析。RS 35C利用自動化晶片處理資產,允許通過整個過程成功處理晶片。收集晶圓特定的信息以進行後續測量,這使模型能夠快速識別和檢查傳入的晶圓。為了進一步提高效率,設備可以配置多個晶片和工藝步驟。該系統由強大的數據收集和分析開放平臺提供動力。數據是使用多種工程測量系統收集的,為用戶提供實時數據。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35C還使用了通用的SWIR(短波紅外)成像單元,允許在晶圓表面上進行快速缺陷分析。因此,PROMETRIX RS 35C是一種強大而復雜的晶圓測試和計量機器.擁有多種測量系統、強大的開放平臺和自動晶圓處理工具,RS-35C提供無與倫比的晶圓映射功能、缺陷檢測和計量。KLA RS 35C的能力使其成為晶片制造極為寶貴的工具,其晶片特性的精確度和缺陷的分析可實現最高的生產產量和成本節約。
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