二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50 #9298896 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50是一種晶圓測試和計量設備,專為產品開發、過程監控、故障分析和產量改進而設計。該系統以較高的速度和精度測量半導體晶片的地形特征和電性能。該單元將自動光學和電氣計量功能結合到一個平臺中。其光學計量功能利用自動化的3D非接觸式幹涉顯微鏡（3D NCI）進行快速、無缺陷、無損的表面地形測量。機器的無損電計量能力包括電場的高速測量、電阻率、電容和電流泄漏。KLA RS-50被優化用於測量包括絕緣子上矽（SOI）、應變矽、MEMS和高K電介質在內的多種半導體和電介質技術。該刀具測量從150毫米到700毫米晶圓的設備,並具有放置基板的表格,從而實現了可重復設置並提高了精度。TENCOR RS-50具有最先進的圖像采集資產,可快速掃描和自動縫合晶圓圖。它可以在1-2分鐘內獲取全晶片圖像,並具有無掩碼和自動缺陷審查的功能,分辨率可調至0.75 μ m。該模型的3D NCI技術提供了高縱橫比特征的高分辨率映射，如隔離溝、接觸開口和多晶矽溝。RS-50為過程控制提供計量反饋,使過程工程師能夠改進當前過程或優化新的過程配方。該設備靈活的體系結構還使其能夠輕松適應不斷變化的技術和應用。PROMETRIX RS-50利用先進的技術（如EBBED板材電阻測量、調制光譜法和4點板材電阻測量）為用戶提供全面的電氣計量功能。它可以測量接觸電阻、MOS電容器和其他電氣參數，以及測量低至0.5 μ m的小幾何形狀。總體而言,來自KLA的KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50是一個先進的晶圓測試和計量系統,可為產品開發、過程監控、故障分析和產量改進提供快速可靠的測量。該設備的自動化光學和電氣計量功能使用戶能夠可視化表面地形、分析電氣特性並進行更改以提高設備性能和質量。