二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50e #9022721 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e是一種晶圓測試和計量設備。它專為前端半導體工藝控制和領先的器件性能優化而設計。該系統為平面和非平面曲面（如顛簸和溝溝）提供三維晶圓級映射和測量功能。KLA RS-50e單元提供了廣泛的計量功能，包括臨界特征大小的測量、覆蓋配準、邊緣檢測和細線。它還能夠測量設備產量統計，以及提供設備和過程分析。該機還能夠進行有缺陷的模具分析。TENCOR RS-50e工具具有長距離顯微鏡，可用於測量非平面表面，同時提供高分辨率圖像。該資產配備了專有的照明和圖像強化（I3）技術,可在測量較小特征時增強對比度。該模型能夠測量深溝槽和深V形溝槽。設備可掃描深度達8微米深。PROMETRIX RS-50e還擁有一整套自動化晶圓檢查工具,以及諸如縫合和標簽工具等手動操作。這允許用戶執行廣泛的晶圓分析任務。自動晶圓檢測工具包括缺陷分類、模式識別、樣本識別、邊緣檢測等。RS-50e還具有用於數據分析的高級系統功能,如實時統計分析、虛擬計量、數據集組織和可視化、自動測試例程設計和自動掃描調度。此外,該設備還配備了屈服加速器包（YAP）,該包將高級計量和晶圓驗證工具與Yieldstar軟件結合使用,以實現快速、準確的設備表征。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e晶片測試和計量機提供了一系列功能,從自動晶片檢查到高級數據分析功能,用戶可以監視和優化設備性能和過程控制。它是一種用途廣泛且可靠的工具,能夠全面測量關鍵特征大小、叠加配準和細線。全套高級工具和功能使用戶能夠最大限度地提高設備產量和性能。