二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293651524 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是一種最先進的晶圓測試和計量設備,旨在為各種半導體材料提供高分辨率測量。該系統可用於檢測和分析晶圓表面的缺陷，以及用於粒徑和汙染測量。KLA RS-55TC建立在四軸橫向舞臺上，主軸位於左側、右側和中心。這允許了多種樣本位置和相對定位，從而可以在單個晶圓中同時進行大量的測量。它還配備了兩級高精度XY平移級，能夠將探針/樣品精確定位在10 μ m以內。該單元還配備了高分辨率光學和視頻顯微鏡、激光檢測儀，以及一臺失焦檢測（OOD）機。集成顯微鏡提供了完整的視場圖像以及高達45倍的放大倍數,從而能夠清晰、詳細地獲取圖像以進行缺陷分析。激光檢測器可以確定缺陷在樣品上的確切位置，而ODD工具能夠快速驗證缺陷的實際尺寸。該資產由專門為晶圓級分析設計的強大計量工具提供動力。該模型的廣域掃描光學器件配有高速數據采集和分析軟件，能夠快速準確地測量晶片級表面特征，如晶格結構、表面地形、薄膜、缺陷等。數據分析包還可以生成參數化圖像和3D表面粗糙度剖面,並提供半導體晶片上各種曲面圖樣和特性的精確、高分辨率數據。TENCOR RS55/TC是一種高度可靠和靈活的設備,既具有高吞吐量,又具有高精度。它非常適合先進的應用，如缺陷檢測和工藝控制，以及半導體晶片的工藝開發和產品鑒定。該系統還符合SEMI S2-97（需要兩個獨立的光學傳感器）、SEMI S8-99和SEMI S14-96等行業標準。
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