二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293742667 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是最先進的晶圓測試和計量設備。它設計用於檢查和分析各種尺寸和材料的晶片，從6英寸到300毫米。該系統能夠識別從微樹突到層內缺陷的缺陷，精度高，精度高。KLA RS-55TC利用掃描電子顯微鏡（SEM）、光學顯微鏡（OM）和反射光顯微鏡（RLM）等標準和先進的圖像采集技術進行多種計量和成像測量。該裝置具有自動晶片對準和預對準功能，非常適合高吞吐量和大型晶片測試。該機配備了專有缺陷識別算法，以及化學機械拋光（CMP）分析工具。缺陷識別算法旨在檢測和識別半導體晶片中存在的缺陷，具有高精度和重復性。CMP分析資產能夠對晶圓表面進行復雜的表面剖析,從而能夠隨時間不斷檢查化學過程。TENCOR RS55/TC晶圓測試和計量模型包括廣泛的計量檢驗工具、軟件和可視化功能。該設備允許用戶快速檢查一系列晶片類型，如SOI、SiN、SiON、光刻膠和金屬。高級可視檢查和分析軟件為用戶提供了有關缺陷、表面或材料屬性的精確信息。該系統還包括工藝監測和控制、高速采樣率和晶片勘探、缺陷分類和特征提取、缺陷密度系統、叠加和晶片對準、統計數據審查能力、多站點映射和缺陷分析等各種可信的生產能力。結合所有這些功能,TENCOR RS-55/TC能夠為各種晶圓測試和計量任務提供高精度和重復性。