二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293778456 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓及其元件的精確測試和測量。該系統采用高精度、基於視覺、非接觸技術,可對晶片上的各種特征進行精確、可重復的測量,包括橫向和垂直尺寸、層厚度、表面粗糙度、缺陷面積等。該單元還包括功能強大的軟件工具,允許進行廣泛的測試和分析,例如數據處理、實時異常檢測和自動產量分析。KLA RS-55TC由光學光柵掃描儀（RS）模塊和顯微鏡跟蹤器（MT）模塊兩部分組成。RS是一個大型掃描平臺，通常安裝在顯微鏡機上。它使用數碼相機和線性馬達以一致的速度在晶片上移動舞臺，而四個獨立相機則在多個平面上拾取晶片表面的圖像。MT模塊使用四個激光器跟蹤顯微鏡的位置，使其能夠精確測量晶圓的深度和表面形狀。該工具還與KLA軟件集成,為用戶提供了一整套數據分析工具。使用該軟件,用戶可以分析晶片的多個區域,以查找單個缺陷和異常,快速識別數據中的趨勢和模式,並使用復雜的特征識別算法自動進行缺陷分類。該軟件還包括識別和測量多層的高級跟蹤功能，使用戶能夠準確分析諸如通風孔和微型顛簸之類的結構。此外,資產還配備了安全內存包,用於安全存儲和共享測試結果。總體而言，TENCOR RS55/TC是一種先進的晶圓測試和計量模型，具有廣泛的特點。通過將精密掃描和測量技術與強大的軟件工具相結合，該設備能夠在從研發到生產測試的各種應用中提供快速、準確的結果。