二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9077700 待售
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ID: 9077700
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Resistivity Mapping System, 8"
Measurement Specifications:
Measurement range: <3m/sq to >5M/sq
Absolute accuracy: based on NIST (NBS) standard
Measurement repeatability
Edge exclusion: 3mm 25mil probe head/ 4mm with 40mil probe head / 5mm with 62.5mil probe head
Temperature
1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是為半導體行業量身定制的先進晶圓測試和計量設備。用於快速、準確地檢測和測量器件級半導體晶片。該系統具有分析各種晶片屬性的能力,包括模具尺寸、模具間距、活動區域、缺陷密度、設備輪廓、線寬和特征尺寸均勻性。KLA RS-55TC單元具有精確的機器人階段和先進的傳感器,可進行高速測量。它可以在大於1,500 wpm的吞吐量水平下處理直徑達8英寸的晶片。該機配備了自動晶圓映射器和多種測量或檢查工具,包括CCD電視攝像機、電容探針、掃描電子顯微鏡和幹涉儀都融入了單一的模塊化平臺。TENCOR RS55/TC工具提供多種計量相關能力,包括模級測量、模模測量或模對圖比較;缺陷檢測和分類;設備分析;橫截面分析;3 D圖像分析;以及基於圖像的故障分析。它還可以執行廣泛的內聯過程控制功能,包括過程監控、實時缺陷檢測和屈服篩選。PROMETRIX RS-55/TC擁有最先進的控制器,可顯著提高性能和準確性。控制器非常精確,采用模塊化設計,可輕松擴展資產功能。它還配備了先進的數據收集和存儲模式,提供全面的審查、數據挖掘和報告能力。PROMETRIX RS 55/TC是一個功能強大、用途廣泛且可靠的晶圓測試和計量解決方案,它結合了自動化測試技術和精密測量工具方面的最佳產品。它保證了可靠、可重復和一致的測試和結果,有助於確保生產高質量的半導體器件。
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