二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9238630 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是為高通量生產測試和在線測量應用而設計的下一代晶圓測試和計量設備。該系統在經濟高效的軟件包中提供高級診斷功能,使制造商能夠利用提高的產量和更好的缺陷控制。KLA RS-55TC單元的光學計量頭提供了在晶圓表面和基板上發現的測試結構的表面和薄膜測量。它支持多種測量技術，包括自上而下和橫截面傅立葉變換紅外（FTIR）光譜、四點探針、幹涉測量、暗場成像、手寫筆和探針基技術，以及先進的單粒子光學細胞測量。還可以選擇非接觸光譜溶液，包括偏振光顯微鏡（PLM）、聚焦離子束掃描電子顯微鏡（FIB-SEM）和原子力顯微鏡（AFM）。這些技術允許詳細檢查各種材料特性,如表面粗糙度、晶體取向、晶粒尺寸、成分和熱穩定性等。機器高度自動化，使用戶能夠一次快速準確地測量許多晶片。該工具配備了若幹計量模塊，使其能夠同時進行測量，在不影響準確性的情況下大幅縮短了總體測試時間。此外,TENCOR RS55/TC資產具有強大的後處理功能,使用戶能夠快速分析傳入的數據並生成詳細的分析報告。該模型還被設計為與其他系統無縫交互，便於整合來自多個測試來源的測試結果。此外，它可以被編程為執行特定的自動測試計劃，並允許遠程調度測試程序。KLA RS55/TC是經濟高效地滿足大多數晶圓測試和計量要求的理想選擇。它具有卓越的性能、廣泛的功能和自動化功能,非常適合進行大批量生產測試和檢查。對於正在尋找先進可靠平臺以最大限度地提高產量並減少停機時間的廠商來說，這是一個絕佳的選擇。