二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293607040 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 293607040
晶圓大小: 6"
Resistivity mapping system, 6" Resistivity probe: Sensing signal transmission and control system Wafer diameter, 4"-8" Measurement range: 5 m Ohm/sq to 5 M Ohm/sq Absolute accuracy: ±1% (Standard silicon wafer, 23°C) Measurement repeatability: <0.2% Measurement time: ≤ 60 Seconds (49-Point test, manual loading, single wafer, temperature compensation) Controller: Computer SECS Communication interface Inspection table stage: X-Y Direction: >200 mm Z Axis control Servo motor drive Transmission / Transfer: Fully automatic cassette to cassette Robot Alignment.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一個針對高級封裝、MEMS和其他高性能、復雜結構量身定制的全自動、半導體晶圓測試、測量和計量平臺。KLA RS55從頭開始構建,在各種測試和測量應用中表現出色,可提供業界領先的準確性、可重復性和可用性。快速準確的TENCOR RS 55能夠測量各種功能,包括線寬、導體尺寸和通矽通孔(TSV)。此外,該平臺能夠測量各種封裝,包括芯片規模封裝(CSP)、WLCSP(晶圓級芯片規模封裝)和翻轉芯片,以及各種IC和PCB。TENCOR RS55提供各種成像選項,例如反射、亮場和暗場,允許3D計量成像。此外,它的高級用戶界面和直觀的測量軟件簡化並加快了數據收集、分析和報告的速度。為了提高準確性,KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55還具有用於模具級分析的集成數字圖像關聯(IDIC)系統,以及專有的Coldfield™和Brightfield™成像系統,可實現無與倫比的弱光性能和改進的圖像質量。此外,TENCOR RS-55還集成了擴展的景深模塊,用於高性能靜態計量應用。對於先進的計量應用,KLA RS 55包括一個具有自動對準和穩定性的集成幹涉儀系統。通過功能強大的PROFINET/NET系統和API, RS55可以連接到各種外部設備,並可以現場執行復雜的測量。該平臺具有四個集成的雙軸級,可實現組件自動放置、元素對齊和晶圓映射。RS-55具有六種不同的系統,每種系統的設計都符合最高的質量和精度標準,可提供廣泛的分辨率和速度能力。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55非常適合各種流程步驟,使客戶能夠最大限度地提高吞吐量和可擴展性,同時最大限度地減少產量損失。
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