二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293628451 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 293628451
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一種晶圓測試和計量設備,提供高清成像和分析功能。該系統通過測量晶片表面的電性能來進行高分辨率成像、缺陷檢測和測量。單元上的七微米激光束使用多種既定的檢測技術來分析樣品的特性,包括光學/電氣測量、微結構成像和3D輪廓計量。KLA RS55具有自動晶片測試和檢查過程,支持正面和背面測量。晶圓樣品裝入機器,並用真空卡盤固定到位.然後將樣品暴露在測量其表面特征和電性能的七微米激光束下。激光掃描階段在通道之間移動樣品,以確保對樣品進行徹底掃描。所有測量都存儲在數據庫中,以後將在進一步分析中訪問或使用。TENCOR RS 55使用專有的雙頭配置,有助於提供快速可靠的分析結果。該工具提供快速的3D掃描功能,可準確測量樣品的高度、寬度和其他尺寸。這樣可以更準確地檢測缺陷並改進過程控制。該資產還配備了高級光學器件,能夠對樣品進行更詳細的成像和分析。該模型還包含一個先進的缺陷成像和分析套件,使用高分辨率光學和信號處理技術來識別缺陷。軟件套件包括自動缺陷定位、鳥瞰分析、截面成像和圖像減法等工具。KLA RS-55利用先進的邊緣檢測和圖像分割算法來實現更快、更高效的缺陷檢測和分析。該設備還具有可靠、用戶友好的工作流程,旨在在不影響準確性的情況下實現快速測試和計量。最後,系統具有板載數據分析功能。這有助於減少數據分析所需的時間和精力,並實現準確的數據檢測。所有這些特性的結合使得KLA RS 55成為晶圓測試和計量的理想解決方案。
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