二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293656290 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是為半導體制造中的應用而設計的高端晶圓測試和計量設備。它能夠測量各種晶圓基板上的各種參數，包括光掩模、晶圓切丁框和其他包裝材料。KLA RS 55的獨特功能使其非常適合需要降低成本、提高吞吐量和提高產量的客戶。TENCOR RS 55是專門為保證晶片分級和處理的準確性和穩定性而設計的。它具有視覺控制的表面策略算法和高速真空控制的裝載站，使晶圓能夠快速放置在指定的階段。基板尺寸檢測和探測器的自動對準可實現對一系列材料的高分辨率測量。此外,RS-55的多區功能允許同時進行多次測試,從而提高了系統的整體吞吐量。在計量方面，RS55配備了集成的數字模式識別，使其能夠精確測量模式的臨界尺寸和臨界測試參數。它還提供自動化、無汙點、橫截面SEM和輪廓成像，以可視化晶圓的3D形態特征。此外,它的高級缺陷審查提供了一系列功能,可以大大加快檢測和診斷缺陷的速度。此外,RS 55提供了一個集成的單元界面,允許用戶在應用程序之間輕松移動,從而在處理復雜的測試作業時節省了時間和精力。它最多可以儲存4000種可以重新使用和修改的計量配方，以保證可重復的工藝條件。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55還配備了先進的數據管理功能，允許用戶維護和分析晶圓測試報告，使報告和維護生產記錄變得更加容易。總體而言，TENCOR RS-55是一種先進的晶圓測試和計量機器，旨在降低成本，優化產量，提高半導體制造應用的吞吐量。它結合了智能功能和高級功能,使其成為當前最通用、功能最強大的系統之一,使其成為質量關鍵型操作的完美工具
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