二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293717299 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一種尖端晶圓測試和計量設備,旨在在半導體制造過程中提供最高水平的性能和準確性。它具有雙光束光學系統、亮場和暗場成像以及清晰的光學分辨率。該裝置旨在確保在不同的半導體制造過程中對晶片進行可靠、精確和高效的測試和計量。KLA RS55利用亮場和暗場成像機對晶片進行精確測量、分析和檢查。亮場工具，一種自對齊的雙光束光學資產，用於精確測量更精細的特征，而暗場模型則精確地描繪了大於五微米精度的特征。這種雙光束設備可以精確檢測和成像在亮場系統中看不到的特征。TENCOR RS 55使用激光幹涉測量法（一種通過檢測兩個元件的振蕩差異來測量距離微小變化的技術）在檢查和計量操作中檢測晶片的任何運動或擺動。再者，這套系統提供了0.75微米的優越光學分辨率，這使得它能夠精確地檢測甚至是特征大小的微小變化。KLA RS 55還設有一套全面的軟件解決方案，允許用戶生成報告，進行趨勢分析，並記錄測試結果。它包括一個圖像對準特征，該特征自動補償晶圓位置的任何漂移和光學單元內的對準。此外，它還提供了業界領先的每秒高達20個晶圓的采樣率，從而能夠快速和可靠地收集數據。RS 55的其他特性包括經過驗證的圖像庫和先進的粒子辨別軟件，使其能夠區分不同的粒子類型，並允許高效的排序和分析。此外，該機器與各種晶圓制造工藝兼容，以進一步定制和優化。綜上所述，KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55是晶圓測試和計量的有效解決方案。PROMETRIX RS-55擁有雙光束光學工具、清晰的光學分辨率、激光幹涉測量技術和整套軟件解決方案,可提供高精度和準確性,同時提高制造質量和效率。