二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293747952 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是為晶圓檢驗和計量設計的精密計量設備。該系統結合了兩軸級、高級成像光學、軟件控制的運動控制以及各種傳感器和儀表，提供了對表面拓撲和缺陷特征的完整覆蓋和表征。該級能夠進行高達375mm的X-Y運動,並可選擇添加Z軸掃描功能,從而使晶片在3個軸上移動。舞臺還設有低振動選項。光學成像由激光共焦輪廓測量（LCP）、可見光反射（VLR）成像和掃描白光幹涉測量（SWLI）相結合提供，實現了全表面成像和完整的缺陷覆蓋和表征。運動控制平臺由高性能運動控制器提供動力，運行在西門子S7 PLC平臺上。此運動控制器可同時進行開環和閉環控制,具體取決於特定的應用程序。該單元具有集成的光學控制，對整個掃描區域的舞臺運動提供高精度控制。運動控制與多種傳感器集成在一起，包括電容觸摸傳感器、激光掃描和用於缺陷分析的X射線顯微鏡。該機器由KLA分析和計量軟件提供動力，該軟件提供分析和報告功能，如整個晶圓表面的全設備表征、缺陷分析和圖像分析。軟件還包括全面的統計方法和算法，使過程優化和缺陷分析能夠實時反饋。KLA RS55是一種通用、高度集成、可靠的晶圓測試和計量工具。它結合了先進的成像光學、運動控制和軟件控制,提供了對表面拓撲和缺陷表征的完整覆蓋和表征,使用戶能夠產生非常精確的結果。
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