二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293778052 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一種專業級晶圓測試和計量設備,專為高級故障分析而設計。它能夠同時測試多達三個晶片,並提供有關其參數的全面數據,如缺陷、厚度、背面清潔度和潛在汙染、平面度和平面度、厚度均勻度和表面粗糙度。其特點中，該系統配備了兩臺大功率真空掃描儀。采用擺桿設計，一個調整舞臺傾斜，另一個調整對峙距離。這樣可以準確掃描大多數晶片的整個區域。KLA RS55還包含一個高頻聚焦控制，它提供了測量表面的精確聚焦。此外，TENCOR RS 55具有X-Y級單元，便於晶圓定位和掃描。這允許快速調整掃描區域,同時允許測試設備與晶圓中心精確對齊。它還控制z-motion，這有助於保持晶圓和測試設備之間的理想對峙。KLA RS 55還支持廣泛的測試和分析任務，如FPRA（傅立葉功率反射儀分析）、NGR（非高斯反射率）和輪廓剖面圖。也可用於測量尺寸從0.2nm到1mm的缺陷。其先進的圖像處理使TENCOR RS-55能夠按大小、形狀、位置和相位準確檢測和分類缺陷。RS 55配備了Prober接口，可以精確控制晶圓處理和溫度敏感參數的測量。機器還具有全自動測試和數據顯示功能，允許用戶定義測試參數，最大限度地提高吞吐量，實時監控測試結果。配備了所有這些功能，TENCOR RS55提供關於任何給定晶片參數的精確、可靠和全面的數據。這使得它成為高級故障分析和過程控制不可或缺的工具。