二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293820679 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55晶圓測試和計量設備是晶圓測試、分析和檢驗的自動化解決方案。它能夠對半導體晶片的物理和電氣性能進行高速、準確和可重復的分析。該系統結合了先進的成像、分析和控制來捕獲和分析晶片屬性測試，如CD/Critical Dimension、OPC/Protical Probe Correction、Defect Review、CD Uniformity High Frequence Metrology、Total Soundness、Visual、Chipal-off和bump Proumpination Cross。它還支持矽片和器件的高分辨率成像和分析，提供對器件性能和晶片制造工藝優化的更深入的洞察。KLA RS55單元基於一個平臺,該平臺包括開放式可配置機器體系結構和基於機器人的模塊化處理工具、雙級光學探測器、用於成像的高分辨率攝像頭以及集成的計算機控制網絡資產。它針對刀具壽命和精度進行了優化,具有許多功能,可實現高級功能,如對齊優化和在多個平面進行機械掃描。它能夠成像，還包括一整套先進的光學計量工具。TENCOR RS 55的檢測模型具有很高的適應性，提供各種晶圓尺寸、錯綜復雜的圖案幾何形狀和高分辨率空間位置的覆蓋。因此,它支持CD結構、CD Uniformity和3D地形的超低劑量成像。該設備還支持高靈敏度和檢測能力，具有檢測CD非均勻性的FBRM設備，以及光學表征CD/OCD、OPC/OPC/OCD、FEOL/BEOL/FEOL Cross-section Metrology的CD結構和CD均勻性。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55系統設計為實現吞吐量優化,具有自動晶片盒接口、基於數據的DGC統一和用戶友好的基於晶片的單元控制。TENCOR RS55通過監測和控制關鍵性能參數以及PID溫度和壓力設定點來支持過程控制優化，並采用先進的軟件算法來驅動機器優化。此外,此工具還具有復雜的自動化功能,使操作員可以在不加幹預的情況下將資產留到一夜之間運行。總之，KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55是一個提供高精度、重復性和可靠性的綜合晶圓測試和計量模型。它旨在提供晶片物理和電氣特性的全面覆蓋,為成像、計量和過程控制提供一套集成的功能。而且，其精密的自動化和開放的配置支持使其成為滿足半導體晶圓測試、分析和檢驗要求的理想選擇。