二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9121410 待售

ID: 9121410
晶圓大小: 8"
Wafer metal metrology tool, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是最先進的晶圓測試和計量設備。它旨在提供各種半導體器件的精確測量,包括前端和後端組件。該系統將廣泛的計量能力與先進的測試和測量技術相結合,提供無與倫比的準確性和可重復性。該單元有幾種用於晶圓測試和計量的工具。它的主要組成部分包括:-晶圓轉塔:原位晶圓轉塔為即時晶圓測試提供了一個自動化的解決方案。它有八個端口,可以容納150毫米晶圓,還有多個不同的探頭,以滿足不同的測試需求。-蝕刻室:先進的紫外線蝕刻室設計,保證蝕刻層的準確測試。它具有高分辨率、多晶圓成像機和自動化對準工具,可重復性和準確性。-測量站:計量站為先進測量需求提供了一整套先進工具。它包括各種探針,包括最新的激光幹涉儀和聲學顯微鏡,以及掃描電子顯微鏡(SEM)功能。-定位站:分選站根據測試結果提供晶片分選。它使用內聯和自動測試算法的組合來識別和隔離有缺陷的晶片。KLA RS55提供直觀的用戶友好界面,允許快速設置和使用。它具有很高的可擴展性,使其適合各種研究和生產應用。它也很容易整合到現有的生產系統中。該資產的設計考慮到了安全性和可靠性。它有幾個冗余系統,以確保最佳性能和可靠性。此外,該型號符合RoHS標準,其氣體和冷卻系統符合或超過安全標準。除了先進的晶圓測試和計量能力外,設備還提供軟硬件解決方案。這樣可以快速定制並與其他測試技術和平臺兼容。總體而言,TENCOR RS 55是一個先進的晶圓測試和計量系統,提供無與倫比的準確性和可重復性。它非常適合研究和生產應用,並且具有很高的可擴展性,可滿足各種需求。其用戶友好的界面、安全功能和先進的計量工具使其成為任何半導體測試環境的絕佳選擇。
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