二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9157661 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55晶圓測試和計量設備是用於晶圓表征的全自動、高通量計量平臺。它采用先進的光學散射技術，以高精度和高精度測量薄膜厚度、粗糙度和光學常數等臨界參數。該系統非常適合於通過（TSV）工藝、MEMS設備和3D集成技術的通矽。KLA RS55單元利用了最先進的、最先進的光學成像技術來提高精度。它采用了兩種光學散射計，兩者都使用零方程法進行精確的參數測定。機器根據獨特的散射成像原理，從不同尺寸和特性的晶片中提取關鍵數據。此外，它的自動光學對準算法確保即使是最具挑戰性的晶圓幾何的精確表征。TENCOR RS 55配備了功能強大的車載數據分析套件，允許用戶運行多個過程控制檢查，實時分析晶圓數據。此工具還具有直觀的圖形用戶界面（GUI）,通過將當前過程的結果與歷史數據集進行比較來更好地了解當前過程。GUI可用於創建自定義操作配置文件、確保更好的流程控制以及生成報告。KLA RS 55的主要優點是對表面特征的魯棒性、測量多參數的能力以及高吞吐量。刀具可同時測量超過10個參數,包括厚度、步高、光學常數和診斷。此外,KLA RS-55與專用的自動化流程控制（APC）軟件結合使用,可確保性能可靠性和可重復性,以最大限度地提高流程產量。總之，RS 55晶片測試和計量資產為晶片表征和過程監測提供了可靠、經濟高效的解決方案。該模型的先進光學成像技術和自動化過程控制可提供準確、可重復的分析,確保晶圓過程中的最高質量水平。