二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9258171 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是為半導體制造商設計的尖端晶圓測試和計量設備。它使用具有先進算法的自動光學檢查（AOI）來檢測晶圓表面的缺陷，如顆粒、裂紋、劃痕、空隙和小坑，分辨率低至50納米。它與KLA 5 x SEM成像系統集成，並提供全晶圓計量能力，包括地形、晶圓曲率、表面映射、叠加和模式測量。KLA RS55使用強大的硬件和軟件組件構建,使其能夠在最惡劣的生產環境中保持可靠。其相機和顯微鏡單元使用最先進的成像光學和圖像處理算法來收集高分辨率圖像，從而能夠進行各種各樣的缺陷檢查應用。TENCOR RS 55配備了自始至終自動參與晶圓過程的智能軟件。該平臺的高級算法，如ScreenOverlay，提供了跨多個晶圓到同一區域的晶圓數據的精確合並和映射。它還具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI），使操作員能夠快速設置和控制晶圓測試和計量。PROMETRIX RS-55易於使用且功能強大的測量功能能夠以最好的分辨率快速準確地檢測缺陷。此外，它的8位和32位測量允許檢測小粒子和其他微量級缺陷。其分析功能使光刻工藝能夠快速準確地檢測線緣和線寬屬性。該機器包括LinkClean非接觸式清潔工具，用於檢查之間的晶圓清潔，或遠程清潔汙垢或細粒。KLA RS-55支持各種清潔戰略，包括激光或化學/浸入式輸送模式，用於表面汙染清潔。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55提供可靠的晶圓測試和計量,用於高性能過程控制和改進產量管理。其高精度的光學成像、先進的算法、易於使用的GUI以及全面的清潔選項，使其成為半導體制造商的理想選擇。