二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9265521 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一種晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體行業的需求。它可以用來分析晶片表面和測量其電特性。KLA RS55在單個系統中提供先進的高級光學、電阻和電容計量功能,從而減輕了對多個測試系統的需求。這一高性能單元在數據采集、分析和速度方面極其精確高效，同時提供可靠的數據質量。該機采用4軸電動XYZ級設計，可容納直徑高達300毫米的晶片。這允許晶圓地形圖映射和以亞納米精度測量小距離變化的能力。它還包括一個4象限晶片卡盤，無需手動旋轉樣品進行圖像采集。TENCOR RS 55有一個激光光散射工具，經過校準，可以高精度測量電阻和電容參數。該資產配有一個位於光學柱內部的脈沖幹涉儀，用作檢測非常小的表面輪廓和粗糙度變化的參考光束。這種測量特性使得該模型非常適合集成電路制造的許多工藝步驟。PROMETRIX RS-55軟件易於編程,可提供全面的分析和結果計算。此外，RS55能夠渲染晶片的高分辨率圖像並對其進行統計分析，以評估半導體過程。這些設備還可以與用於自動晶圓測試和計量的其他軟件工具集成在一起。總體而言，KLA RS 55是一種先進可靠的晶圓測試和計量系統，旨在滿足半導體行業的苛刻需求。它提供高精度的計量功能,具有無與倫比的準確性、高效的數據采集和可靠的報告,以及具有直觀用戶界面的豐富軟件。這使得它成為任何半導體制造商的完美測試和計量單位。