二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #195934 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是一種晶圓測試和計量設備，用於分析和測量半導體晶圓。它旨在檢查和檢查半導體級別的特征,如顛簸、線條、非均勻性和特征大小。該系統以先進的光學技術為基礎，能夠快速、精確地檢測晶圓上的各種尺寸和缺陷。KLA RS-55TC可以連接到自動晶片處理單元（AWHS）,用於檢查和測量晶片表面和特征。該機配備了Auto-Focus Tilt相機和Dual Telecentric鏡頭。自動對焦傾斜相機允許工具捕獲樣品的高分辨率圖像。雙鏡頭具有可調的景深，可以捕捉不同焦平面的圖像。TENCOR RS55/TC能夠獲得晶圓的3D數據和表面拓撲測量。它可以測量凸起高度、大小和形狀,以及線寬、間距和CD（臨界維度）值。資產還可以檢測線寬和間距的變化，以及分析特征的均勻性。利用各種分析技術測量晶片上的特征，包括SEM（掃描電子顯微鏡）、光學顯微鏡、SEM-AFM（掃描電子顯微鏡-原子力顯微鏡）、白光幹涉測量。該模型利用這些技術（包括高級算法）的組合來檢測晶圓表面的缺陷和變化。TENCOR RS-55TC具有測量各類材料的能力，如矽、銅、鋁、金和其他類型的金屬。該設備還可以分析有機材料，使其適合廣泛的應用。該系統提供高吞吐量和快速的檢測速度。它還配備了易於使用的接口，使數據采集和報告生成變得簡單快捷。綜上所述，TENCOR RS-55/TC是一個前沿晶片測試和計量裝置，設計用於檢查和測量半導體晶片。該機利用先進的光學技術，利用量身定制的分析技術檢測缺陷和變化。KLA RS-55/TC具有強大的功能、快速的吞吐量和易於使用的界面,是檢查和測量晶圓表面的理想選擇。